Overzicht
De massafloopmeter is een zeer belangrijk onderdeel van de productieapparatuur voor halfgeleiders. De stabiliteit van het werk is vaak een belangrijke factor voor het succes of mislukking van halfgeleiderprocessen.
HORIBA STEC, Als een wereldwijde producent van flowmeters met een marktaandeel van meer dan 35%*1 levert we al lang consistent hoogwaardige, veelzijdige producten voor de halfgeleiderindustrie. Met deze nieuwe technologie brengt HORIBA STEC nu wereldwijd een nieuw type massafloopcontroleur op de markt: de Z500-serie.
De Z500X-serie is een nieuwe doorbraak ten opzichte van oudere modellen en zal de toekomst van de stroombeheersingstechnologie veranderen. Tegelijkertijd wordt de conversie van samengestelde gassen en samengestelde stromen mogelijk, terwijl alle functies die de klant nodig heeft voor stroombeheer worden aangeboden. De klant kan eenvoudig het soort en het bereik van het stroometergas wijzigen volgens de procesbehoeften*2.
Bovendien voldoet de Z500-serie volledig aan de RoHS-ontwerpvereisten voor groene producten en verhoogt de waarde van het product voor klanten door middel van technologische innovaties in het materiaal.
De high-performance Z500-serie flowmeters zullen u nog meer verrassen. De hele wereld is getuige van de geboorte van deze nieuwe massafloopmeter die de hele halfgeleiderindustrie zal veranderen.
*1 Zie het VLSI-onderzoek van 2007.
*2 Samengestelde gas, samengestelde stroom functie.
Kenmerken
Hoge nauwkeurigheid: stel de stroomwaarde ± 1,0%.
De lineaire nauwkeurigheid van de MFC wordt gecompenseerd door een polynomiale benaderingscurve, een technologie die een hoge nauwkeurigheid garandeert binnen de verschillende regelbereiken. Om de nauwkeurigheid van de regeling voor verschillende soorten werkelijke gassen te verbeteren, heeft HORIBA STEC een standaard gasmeetsysteem ontwikkeld en kalibratiegegevens verzameld voor verschillende procesgassen op basis van een groot aantal experimenten.
Hoge snelheid
De SEC-Z500X maakt gebruik van het onlangs ontwikkelde "veranderbare PID"-systeem dat ervoor zorgt dat de wijziging tussen een van de twee ingestelde stroompunten binnen 1 seconde wordt voltooid.
Samengestelde gassen, samengestelde stroomsystemen
Met de nieuwe producten van HORIBA STEC kunnen klanten eenvoudig het soort gas en de stroom ter plaatse veranderen. Onze Z500 setup software is eenvoudig en gebruiksvriendelijk. Nog beter, het voltooien van deze wijzigingen vereist niet eens het verwijderen van de MFC van het systeem. Hierdoor kan het aantal reserveonderdelen van de klant aanzienlijk worden verminderd en wordt tijd en kosten bespaard.
Productafbeeldingen en andere