Ultrahoge resolutie veld emissie scanning elektronenmicroscoop Regulus serie
De bestaande modellen SU8240, SU8230, SU8220 en SU8010 werden hergeïntegreerd tot de Regulus 8240, Regulus 8230, Regulus 8220 en Regulus 8100.
De 'Regulus-serie' erft de observatieve en analytische prestaties van bestaande modellen, uitgerust met een geluidsarme koude-veld-elektronische pistool uit de SU8200-serie*1Een hoge stabiele stroom kan worden verkregen.
Door het optimaliseren van het elektronische optische systeem verhoogde de Regulus 8240/8230/8220 de resolutie tot 0,7 nm bij 1 kV en de Regulus 8100 tot 0,8 nm.
Bovendien is de vergroting van 1 miljoen keer naar 2 miljoen keer verhoogd om de ultrahoge resolutie volledig te benutten.*1Dat.
De Regulus 8240/8230/8220/8100 bevat ook een verbeterde ondersteuningsfunctie, waarmee gebruikers eenvoudiger kunnen begrijpen hoe complexe signalen worden gedetecteerd en de optimale prestaties van hun instrument kunnen benutten.
- *1
- Alleen voor Regulus 8240/8230/8220
-
Kenmerken
-
Specificaties
Kenmerken
- Elektronisch pistool met koud vuurveld van de 'SU8200-serie'*2
- Het gebruik van het stabiele gebied van hoge helderheid van de elektronenstraal dat na het knipperen verschijnt als een stabiel waarnemingsinterval, zorgt voor optimale prestaties voor hoge resolutie waarneming en analyse onder lage versnellingsspanningsomstandigheden
(Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV) - Gebruik van kleine vervuilende, hoge vacuüm monster depot
- Gebruik een energiefilter (optioneel) om verschillende bestanddelen contrast te waarnemen*2
Hoge resolutie waarneming bij zeer lage landingsspanning

Voorbeeld: gouden deeltjes
Landingsspanning: 10 V
Ultrahoge resolutie waarneming

Voorbeeld: Pt katalysator
Versnellingsspanning: 30 kV
EDX-analyse met hoge resolutie bij lage versnellingsspanning

Voorbeeld: Sn Ball
Landingsspanning: 1,5 kV
- *2
- Alleen voor Regulus 8240/8230/8220
Specificaties
| Projecten | Regulus 8100 | Regulus 8220 | Regulus 8230 | Regulus 8240 | |||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Secondaire elektronische resolutie | 0.7 nm (Versnellingsspanning 15 kV) 0.8 nm (landingsspanning 1 kV)*3 |
0,6 nm (versnelde spanning 15 kV) 0,7 nm (landingsspanning 1 kV)*3 |
|||||
| Landingsspanning | 0.1~2 kV | 0.01~20 kV | |||||
| Vergroot | 20 tot 1.000.000 keer*4 | 20 tot 2.000.000 keer*4 | |||||
| Voorbeeld Stand | Controle van het monsterbedrijf | 3-as motorstation (optioneel 5-as motorstation) | 5-assige motoraandrijving | ||||
| Bewegingsbereik | X | 0~50 mm | 0~50 mm | 0~110 mm | 0~110 mm | ||
| Y | 0~50 mm | 0~50 mm | 0~110 mm | 0~80 mm | |||
| R | 360° | ||||||
| T | -5~70° | ||||||
| Z | 1.5~30 mm | 1.5~40 mm | |||||
| Reproduceerbaarheid | - | - | - | ±0,5 µm tot ±0,5 µm | |||
- *3
- Observeren in vertragingsmodus
- *4
- Vergrooting gebaseerd op een film van 127 mm x 95 mm
Gerelateerde productcategorieën
- Focus ionstraalsysteem (FIB/FIB-SEM)
- TEM/SEM-voorbehandelingsapparaat
