In de voorbereiding van ultrazuiver water is de interpretatie van TOC (totale organische koolstof) van cruciaal belang, met behulp van UV-185nm lage druk hoge energie UV-technologie en in combinatie met UV-254nm UV-stericide, in staat om hydroxylvrije radicalen in het water te produceren door middel van hoge doses UV-185nm UV-fotokatalyse, oxidatieve afbraak van organische stoffen in het water om het TOC-gehalte in het water te verminderen